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三氯氢硅专用硅粒制造工艺
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三氯氢硅生产技术 百度文库
三氯氢硅生产技术在用上述方法生产HSiCl3时遇到的最大问题是催化剂的夹带流失和催化剂与Si粒子 Bernhard等介绍了一种廉价的HSiCl3生产工艺，它是用由块状Si生产具有特定粒度分布 摘要:介绍了三氯氢硅的生产原理及催化反应机理,阐述了沸腾氯化法生产三氯氢硅的 三氯氢硅的生产工艺选择 2023年1月24日 三氯氢硅生产主要有3个工序：三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器，用蒸汽加热至一定的温度，然后利用氮气 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应2013年3月13日 对于多晶硅生产， 三氯氢硅制备工艺是首要的。 三氯氢硅制备有不同的工艺， 目 前生产大多采用流化床法工艺， 主流生产工艺有改良西门子法硅粉转化和氯氢化的四氯化 三氯氢硅制备工艺介绍 道客巴巴
三氯氢硅生产工艺 百度文库
三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法，主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷 三氯氢硅的合成是在高塔形沸腾床中完成的，干燥的硅粉由中部 送入，氯化氢经底部喷板喷入，氯化氢气体与硅粉在 300℃左右发生 强烈的化学反应生成三氯氢硅和四氯化硅，同时有少量的 年产4000吨三氯氢硅工艺设计 百度文库3SiHCl是重要的硅基单体原料,广泛应用于电子基板,光伏电池板原材及有机硅生产领域目前最常用的3SiHCl生产技术是直接氯化法(或称硅氢氯化法),利用Si与HCl在适宜的条件下反应生 三氯氢硅合成及后处理单元工艺优化研究 百度学术从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法。 前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低 三氯氢硅制备工艺介绍 百度学术
三氯氢硅生产装置设计及优化措施 维普期刊官网
1979年8月21日 本三氯氢硅工业生产装置采用硅粉与氯化氢气体直接反应的常压沸腾床工艺。 介绍了整个生产工艺流程;分析生产过程中的主要危险因素,提出避免危险因素出现的主要设计措 2012年1月8日 摘要:介绍了三氯氢硅的生产原理及催化反应机理,阐述了沸腾氯化法生产三氯氢硅的工艺和流程,及以四氯化硅为原料的还原法、以硅粉为原料的直接法、硅氢氯化法等工艺。三氯氢硅的生产工艺选择 百度文库2015年8月22日 本文通过生产实践发现：将硅粉的粒度控制在125~425μm之间，氯化氢合成工艺中通过工艺控制使氢气过量，合成的氯化氢气体纯度控制在90%左右，含水量控制在005%以 三氯氢硅合成工艺的影响因素及控制 豆丁网三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺流程 百度文库
三氯氢硅生产及工艺 百度文库
三氯氢硅生产及工艺 张祖光 （河北唐山南堡开发区经济发展局，河北唐山） [摘要]对三氯氢硅的市场情况进行了预测，简述了三氯氢硅的生产工艺，并对生产工艺中的危险性进行了分析，提出相应 的措施。 【关键词】三氯氢硅；有机硅：硅烷偶 硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响第5 l卷第 5期 氯 碱 工 业 Vo 1 ． 51， No． 5 Ma y，2 01 5 2 0 1 5年 5 月 Ch l o r— — Al ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ a l i I nd u s t ￣ 【 产品】 硅 粉 质量 对合 成 法 生产三 氯 氢硅 硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响 百度文库第三节 三氯氢硅合成工艺 31三氯氢硅的性质 三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为318℃，熔点为1265℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为47，在空气中爆炸极限为12~90三氯氢硅生产工艺 百度文库三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为318℃，熔点为1265℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为47，在空气中爆炸极限为12~905%(体积分数)。三氯氢硅生产工艺 百度文库
知乎盐选 212 三氯氢硅西门子法生产工艺
212 三氯氢硅西门子法生产工艺 三氯氢硅西门子工艺是指以三氯氢硅为原料，以氢气为还原剂，在还原炉中置换出高纯多晶硅。该方法是当前国际上的主流工艺，90% 的多晶硅由该方法生产，并且随着技术的进步，预计这种趋势在未来较长一段时间内不会改变。三氯氢硅尾气处理工艺介绍三氯氢硅尾气处理的工艺和设备。三氯氢硅尾气(流量为3 000 m3/h) 处理后排放气体中ρ(HCl)〈01 mg/L 三氯氢硅生产工艺采用沸腾氯化法 ， 主要工序 有： 氯化氢合成、 三氯氢硅合成、 三氯氢硅精制等。 氯化氢合 成工 序是氯 三氯氢硅尾气处理工艺 百度文库三氯氢硅生产工艺流程简介烟筒设置足够的高度，使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。三氯氢硅生产的火灾危险及对策所属分站:硅系所属产品:工业硅关键词: 工业硅冶炼三氯氢硅金属硅文章摘要:三氯氢硅又称三氯硅烷 三氯氢硅生产工艺流程简介 百度文库将从三氯氢硅合成炉排出的尾气，经压缩使其压力达到07MPa后进入水冷却器进行初步冷却，然后再进入冷凝器经45℃冷媒进一步冷却，这样绝大部分三氯氢硅被冷凝成液体，与氯化氢、氢气分离冷凝的三氯氢硅液体与合成的三氯氢硅一起送中间产品贮罐，未被三氯氢硅生产工艺 百度文库
三氯氢硅 百度文库
( 八) 生产过程中的三废排放和处理 三氯氢硅合成过程中主要产生四氯化硅、 氯化氢、 二氯二氢硅、 硅渣等废料， 其中，四氯化硅、二氯二氢硅经气液分离后回流送入三氯氢硅合成塔中，与氯化 氢、 氢气反应继续生成三氯氢硅； 氯化氢气体经干燥后也送入合成塔中参加反应； 硅渣用 3%盐 但是目前大规模多晶硅生产中，80%的生产厂采用改良西门子法来生产多晶硅，其生产工艺中主要的原料就为三氯氢硅，每生产1t多晶硅，就需要补充大约5~6t三氯氢硅。因此研究三氯氢硅合成工艺、影响因素以及生产过程的控制就具有十分重要的意义。三氯氢硅合成工艺的影响因素及控制 百度文库合成三氯氢硅可在沸腾床和固定床两类型设备中进行，与固定床相比，用沸腾床合成三氯氢硅的方法，具有生产能力大，能连续生产，产品中三氯氢硅含量高，成本低以及有利于采用催化反应等优点，因此目前已被国内外广泛采用。 沸腾床与固定床比较其优点为：三氯氢硅 百度文库在多晶硅工业中,氯硅烷作为生产多晶硅的重要原料,即使原料中含有痕量的杂质,最终也会影响多晶硅产品的质量杂质主要是金属氯化物,三氯化硼(硼在硅中作为一种正电荷掺杂剂),三氯化砷,三氯化磷(磷在硅中作为一种负电荷掺杂剂)等 氯硅烷精制技术的难点在于高纯三氯氢硅的节能高效生产工艺过程研究 百度学术
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2024年3月4日 ⑵三氯氢硅的储存。三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。由于三氯氢硅有潜在的燃烧爆炸危险，所以它的贮罐应与生产装置要有一定的防火间距，并且要设防火堤，降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。三氯氢硅生产工艺 三氯氢硅（简称TCS）是一种无机化学品，主要用于半导体、光电子、电子化学等领域。下面是三氯氢硅的生产工艺简介。 三氯氢硅的生产主要采用化学反应法，通常从硅源和氯源出发，经过多步反应得到三氯氢硅。三氯氢硅生产工艺 百度文库改良西门子法多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配 改良西门子法 百度百科三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯 氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺流程 百度文库
三氯氢硅合成及后处理单元工艺优化研究 百度学术
摘要： 3SiHCl是重要的硅基单体原料,广泛应用于电子基板,光伏电池板原材及有机硅生产领域目前最常用的3SiHCl生产技术是直接氯化法(或称硅氢氯化法),利用Si与HCl在适宜的条件下反应生成3SiHCl,4SiCl等氯硅烷混合物,反应温度,反应器的压力和压差,Si与HCl的 三氯氢硅的生产大多采纳沸腾氯化法，要紧包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反映生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐，然后送三氯氢硅合成炉。三氯氢硅生产工艺 百度文库三氯氢硅生产方法一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法，其主要流程如下： a）将镍触媒与硅粉以质量比1－10％的比例均匀混合后置于活化器中，活化条件为H2↑流速≥0．05－0．3m／s，经不同时间阶段由25℃至终温420℃的升温条件下完成活化过程；三氯氢硅生产工艺 百度文库2006年3月29日 三氯氢硅歧化法多晶硅生产工艺的热力学分析 武珠峰;郭小红;范协诚;银波 【摘 要】根据反应平衡时体系Gibbs自由能最小原理,对歧化法生产硅烷的过程进行了模拟分析,得出了不同条件下反应的平衡转化率及适宜的操作条件,依据计算结果设计了三氯氢硅歧化法生产硅烷的四塔流程,并且对三氯氢硅歧化 三氯氢硅歧化法多晶硅生产工艺的热力学分析 百度文库
三氯氢硅生产知识 百度文库
三氯氢硅生产工艺流程 1、三氯氢硅合成 将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。相关的工艺中，三氯氢硅通过歧化反应生成硅烷(SiH 4)和四氯化硅。硅烷用于半导体及其他产品中，包括使用西门子还原法或者流化床技术生产多晶硅。流化床法制造的多晶硅性质不规则，通常是名义直径为最大2mm的球形颗粒。CNA 三氯氢硅制造工艺 Google Patents2024年6月13日 课秳名称：多晶硅工艺学第四章三氯氢硅的合成新特能源多晶硅人才培训项目——授课教师：**；王永伟新疆大学化学化工学院制作能力目标1理解三氯氢硅迓原生产多晶硅的原理、基本流秳2掌握三氯氢硅迓原操作要点3了解三氯氢硅迓原生产多晶硅质量要求学习目标知识目标1三氯氢硅迓原生产 4第四章三氯氢硅的合成 豆丁网三氯氢硅的合成工艺(3) 尾气吸附处理方法利用活性炭对氯硅烷的吸附作用。当尾气中氯化氢、氢气及少量未液化的氯硅烷经过活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，当活性炭吸附饱和后，由蒸汽加热，脱出吸附的氯硅烷，与合成产品一同送离系统 三氯氢硅的合成工艺 百度文库
三氯氢硅歧化制取硅烷及硅烷热分解制备多晶硅工艺分析
2018年7月31日 三氯氢硅歧化制取硅烷及硅烷热分解制备多晶硅工艺分析process analysis of preparing silane by disproportionation of 高纯硅的一个突破，50年代后期，西门子法问世，多晶硅的生产开始工业化大规模生产，其生产工艺主要是用氢气还原三氯氢 硅在硅芯上 三氯氢硅法工艺的Baidu Nhomakorabea本原理是利用硅源与氯化剂在高温条件下发生反应生成氯化硅，再通过还原反应将氯化硅还原成多晶硅。 三、工艺流程 1原料准备 在三氯氢硅法工艺中，主要原料包括硅源和氯化剂。简述三氯氢硅法工序的工艺流程百度文库三氯氢硅的工艺24 硅粉精制岗位工艺流程简图第三节 三氯氢硅合成工艺31 三氯氢硅的性质三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、 Silicochloroform．三氯氢硅沸点为 318℃，熔点为1265℃，自燃温度为 185℃， 在空气密度为 1三氯氢硅的工艺 百度文库三氯氢硅提纯工艺综述2三氯氢硅提纯工艺简介目前提纯SiHCl3的方法主要有精馏法、络合物法、固体吸附法以及多步精制法[5] 。由于精馏提纯法简单而有效，又避免引进任何试剂，绝大多数杂质都能被完全分离，是目前应用最广泛的提纯方法。21络合物法 三氯氢硅提纯工艺综述 百度文库
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中间产品贮罐中的三氯氢硅、四氯化硅混合液，借隔膜压缩机的压力，经电磁浮子流量计计量后，加入加压分离塔，通过控制塔底再沸器及塔顶冷凝器的温度和压力，将HCl、H2等低沸点物质分离，从塔顶冷凝器顶部经尾凝冷凝后排入尾气淋洗塔，合格的三氯氢硅三氯氢硅生产工艺流程 三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。三氯氢硅生产工艺流程 百度文库三氯氢硅生产及工艺 张祖光 （河北唐山南堡开发区经济发展局，河北唐山） [摘要]对三氯氢硅的市场情况进行了预测，简述了三氯氢硅的生产工艺，并对生产工艺中的危险性进行了分析，提出相应 的措施。 【关键词】三氯氢硅；有机硅：硅烷偶 三氯氢硅生产及工艺 百度文库硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响第5 l卷第 5期 氯 碱 工 业 Vo 1 ． 51， No． 5 Ma y，2 01 5 2 0 1 5年 5 月 Ch l o r— — Al ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ a l i I nd u s t ￣ 【 产品】 硅 粉 质量 对合 成 法 生产三 氯 氢硅 硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响 百度文库
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第三节 三氯氢硅合成工艺 31三氯氢硅的性质 三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为318℃，熔点为1265℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为47，在空气中爆炸极限为12~90三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为318℃，熔点为1265℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为47，在空气中爆炸极限为12~905%(体积分数)。三氯氢硅生产工艺 百度文库212 三氯氢硅西门子法生产工艺 三氯氢硅西门子工艺是指以三氯氢硅为原料，以氢气为还原剂，在还原炉中置换出高纯多晶硅。该方法是当前国际上的主流工艺，90% 的多晶硅由该方法生产，并且随着技术的进步，预计这种趋势在未来较长一段时间内不会改变。知乎盐选 212 三氯氢硅西门子法生产工艺三氯氢硅尾气处理工艺介绍三氯氢硅尾气处理的工艺和设备。三氯氢硅尾气(流量为3 000 m3/h) 处理后排放气体中ρ(HCl)〈01 mg/L 三氯氢硅生产工艺采用沸腾氯化法 ， 主要工序 有： 氯化氢合成、 三氯氢硅合成、 三氯氢硅精制等。 氯化氢合 成工 序是氯 三氯氢硅尾气处理工艺 百度文库
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三氯氢硅生产工艺流程简介烟筒设置足够的高度，使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。三氯氢硅生产的火灾危险及对策所属分站:硅系所属产品:工业硅关键词: 工业硅冶炼三氯氢硅金属硅文章摘要:三氯氢硅又称三氯硅烷 将从三氯氢硅合成炉排出的尾气，经压缩使其压力达到07MPa后进入水冷却器进行初步冷却，然后再进入冷凝器经45℃冷媒进一步冷却，这样绝大部分三氯氢硅被冷凝成液体，与氯化氢、氢气分离冷凝的三氯氢硅液体与合成的三氯氢硅一起送中间产品贮罐，未被三氯氢硅生产工艺 百度文库( 八) 生产过程中的三废排放和处理 三氯氢硅合成过程中主要产生四氯化硅、 氯化氢、 二氯二氢硅、 硅渣等废料， 其中，四氯化硅、二氯二氢硅经气液分离后回流送入三氯氢硅合成塔中，与氯化 氢、 氢气反应继续生成三氯氢硅； 氯化氢气体经干燥后也送入合成塔中参加反应； 硅渣用 3%盐 三氯氢硅 百度文库